2026年1月15日，云際芯光（珠海）微電子有限公司在珠海金灣區(qū)舉行MEMS芯片生產(chǎn)線通線儀式，標(biāo)志著珠海市首條MEMS芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)。該產(chǎn)線的建成，不僅是企業(yè)自身從芯片設(shè)計(jì)、制造到封測(cè)全鏈條閉環(huán)的關(guān)鍵一步，也為珠海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)補(bǔ)上了“制造環(huán)節(jié)”的重要拼圖。
云際芯光成立于2023年11月，專注于壓電MEMS芯片的研發(fā)、設(shè)計(jì)與制造。公司以SMR濾波芯片、PMEMS聲學(xué)傳感器、高基頻石英晶振、高精度壓力傳感器為核心產(chǎn)品矩陣，致力于打破國(guó)外在高端頻率器件、傳感器等領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷。企業(yè)擁有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，目前已申報(bào)專利30余項(xiàng)，并建成涵蓋設(shè)計(jì)、工藝、封裝測(cè)試的全流程研發(fā)體系。
此次通線的6英寸MEMS生產(chǎn)線位于金灣區(qū)三灶鎮(zhèn)定家灣片區(qū)，從建設(shè)到貫通僅用時(shí)約一年，創(chuàng)下“建設(shè)周期最短、通線速度最快”的行業(yè)紀(jì)錄。產(chǎn)線具備光刻、薄膜、刻蝕、鍵合等全流程工藝能力，可實(shí)現(xiàn)SMR濾波器、石英晶振等產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。
云際芯光相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，選擇落戶金灣，離不開(kāi)珠海市、金灣區(qū)在集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的布局與政策支持。作為粵港澳大灣區(qū)的重要節(jié)點(diǎn)，金灣區(qū)近年來(lái)持續(xù)強(qiáng)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)，但MEMS制造環(huán)節(jié)仍屬空白。云際芯光的投產(chǎn)，不僅為企業(yè)自身帶來(lái)產(chǎn)能支撐，更與本地設(shè)計(jì)、封裝、應(yīng)用企業(yè)形成協(xié)同，助力珠海構(gòu)建更具競(jìng)爭(zhēng)力的特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
據(jù)介紹，隨著生產(chǎn)線正式運(yùn)行，云際芯光已與多家行業(yè)客戶達(dá)成戰(zhàn)略合作，產(chǎn)品將廣泛應(yīng)用于5G/6G通信、衛(wèi)星導(dǎo)航、汽車電子、工業(yè)傳感等領(lǐng)域。未來(lái)，企業(yè)將繼續(xù)深化壓電MEMS技術(shù)研發(fā)，推動(dòng)更多國(guó)產(chǎn)芯片走向市場(chǎng)，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主化與高端化注入“芯”動(dòng)力。
