2025年11月18日，異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇上，甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)8英寸驗(yàn)證線通線。至此，該實(shí)驗(yàn)室正式建成國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的全鏈條異質(zhì)異構(gòu)集成共享平臺(tái)。
微納平臺(tái)占地12000平方米，其中潔凈室面積6000平方米，已建成6英寸研發(fā)線和8英寸驗(yàn)證線各一條，配備165臺(tái)（套）高端精密設(shè)備。8英寸驗(yàn)證線的開通，“不僅是從‘6英寸’到‘8英寸’的尺寸升級(jí)，更是從‘概念驗(yàn)證’到‘工程驗(yàn)證’的能力躍遷。”甬江實(shí)驗(yàn)室主任崔平說，這標(biāo)志著微納平臺(tái)體系化能力的正式形成。
半個(gè)多世紀(jì)以來，摩爾定律猶如一座燈塔，指引著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)飛速發(fā)展。然而，隨著晶體管尺寸逼近原子極限，傳統(tǒng)“微縮”路徑已難以為繼，“異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)”正是應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)的創(chuàng)新方案，也是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“變道超車”的戰(zhàn)略抓手?！斑@就像搭樂高，我們不再局限于用一種材料、一種工藝。”甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)技術(shù)負(fù)責(zé)人張瓦利作了個(gè)形象的比喻。異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)，不再執(zhí)著于把所有功能都塞進(jìn)一塊芯片，而是讓不同材料、不同功能的芯片“自由組合”，組成更強(qiáng)大、更高效的系統(tǒng)。張瓦利說：“即便是28納米級(jí)芯片，通過集成工藝，也能發(fā)揮出14納米級(jí)芯片的性能?！?/p>
走進(jìn)甬江實(shí)驗(yàn)室微納平臺(tái)，未來感、科技感頓時(shí)拉滿。上百臺(tái)高端精密設(shè)備“高冷”而神秘，穿著白色防護(hù)服的研發(fā)人員來回穿梭，仿佛進(jìn)入了科幻電影里的場(chǎng)景。目前，微納平臺(tái)已構(gòu)建一個(gè)開放共享的基礎(chǔ)設(shè)施、一個(gè)中立可信的賦能平臺(tái)、一個(gè)鏈接產(chǎn)學(xué)研用的創(chuàng)新樞紐。“今后將與企業(yè)共同探索從中試走向量產(chǎn)的可行路徑，為產(chǎn)業(yè)提供最需要、最關(guān)鍵的臨門一腳?！?/p>
先進(jìn)驗(yàn)證線，是團(tuán)隊(duì)拼出來的?！百I設(shè)備不難，全鏈條布局、全鏈條調(diào)通，很難很難?！睆埻呃f。此次通線的驗(yàn)證線，覆蓋材料外延、晶圓制造、芯片加工、封裝測(cè)試、器件模塊可靠性分析全鏈條。每一道工藝、每一個(gè)器件都要反復(fù)調(diào)試優(yōu)化，然后實(shí)現(xiàn)全流程打通。“單是化學(xué)劑拋光這一個(gè)工藝，我們調(diào)試就用了300片8寸晶圓，其間我們又進(jìn)行了幾十次實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，迭代了很多次器件設(shè)計(jì)，做了上千個(gè)工藝表征?！睆埻呃f。65人的科研團(tuán)隊(duì)，全身心撲在實(shí)驗(yàn)室，“死磕”驗(yàn)證線。早上8點(diǎn)到實(shí)驗(yàn)室，晚上10點(diǎn)多離開。那幾個(gè)月，不少人的平均工作時(shí)長接近14個(gè)小時(shí)，節(jié)假日也不例外……團(tuán)隊(duì)靠不懈努力，用一年時(shí)間，拼出“國內(nèi)領(lǐng)先”。
崔平表示，集成電路是寧波重點(diǎn)布局的新興產(chǎn)業(yè)、前沿產(chǎn)業(yè)和標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)。作為省市重大科創(chuàng)平臺(tái)，甬江實(shí)驗(yàn)室必須以一流的設(shè)備、專業(yè)的人才，賦能每一位企業(yè)家、科學(xué)家、科創(chuàng)者，賦能寧波半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高水平、高質(zhì)量發(fā)展?！拔⒓{平臺(tái)是實(shí)驗(yàn)室體系化建設(shè)的關(guān)鍵一環(huán)，去年6英寸研發(fā)線投入運(yùn)行后，為產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新提供了有力支撐。今天8英寸驗(yàn)證線正式通線，更是寧波科技創(chuàng)新發(fā)展的大事?！别苿?chuàng)辦常務(wù)副主任徐云說。
