近日，致真精密設(shè)備（杭州）有限公司正式開(kāi)業(yè)，五十余位產(chǎn)、學(xué)、研、投代表齊聚杭州，共同見(jiàn)證國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體裝備企業(yè)長(zhǎng)三角戰(zhàn)略布局的跨越式突破。依托國(guó)際領(lǐng)先的0.1nm級(jí)薄膜沉積控制技術(shù)與完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的設(shè)備架構(gòu)，這家技術(shù)企業(yè)正以硬核科技為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入強(qiáng)心劑。
2018年，致真精密設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱“致真設(shè)備”）團(tuán)隊(duì)向納米級(jí)薄膜沉積技術(shù)發(fā)起攻堅(jiān)。歷時(shí)三年晝夜攻關(guān)，首臺(tái)國(guó)產(chǎn)單原子層精度磁控濺射設(shè)備于2021年橫空出世——0.1nm沉積精度、±2%薄膜均勻性的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，達(dá)到國(guó)際頂尖水平。
2021年5月14日，合肥致真精密設(shè)備有限公司應(yīng)運(yùn)而生。開(kāi)啟從原理樣機(jī)研制、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)機(jī)型落地的三級(jí)跨越。四年間，產(chǎn)品線快速覆蓋4-12英寸晶圓制造工藝，在航天芯片、量子器件、新型存儲(chǔ)等領(lǐng)域累計(jì)替代進(jìn)口設(shè)備超百臺(tái)，成為國(guó)家重點(diǎn)工程的“裝備基石”。
目前，致真設(shè)備已形成產(chǎn)業(yè)級(jí)薄膜制備設(shè)備、科研級(jí)薄膜制備設(shè)備、真空傳輸平臺(tái)、超高真空零配件四大產(chǎn)品矩陣。其中，致真設(shè)備自主研發(fā)生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)級(jí)薄膜制備設(shè)備，主要包含一批針對(duì)企業(yè)中試線和產(chǎn)線研發(fā)的磁控濺射設(shè)備。該系列設(shè)備性能高、效率高、成本低、穩(wěn)定可靠，可實(shí)現(xiàn)8-12英寸基底上納米級(jí)材料的生產(chǎn)制備需求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、新型存儲(chǔ)器、新型顯示、新能源等領(lǐng)域，能夠有效滿足生產(chǎn)級(jí)和量產(chǎn)級(jí)的薄膜制備需求。
為進(jìn)一步強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)級(jí)設(shè)備體系的實(shí)力，致真設(shè)備12英寸裝備杭州生產(chǎn)基地已正式投產(chǎn)。該基地將顯著提升公司在大尺寸、高產(chǎn)能薄膜沉積裝備領(lǐng)域的研發(fā)與制造能力。目前，公司研發(fā)和生產(chǎn)的面向新型存儲(chǔ)器制備的12英寸薄膜沉積系統(tǒng)，已成功導(dǎo)入國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)，用于量產(chǎn)線關(guān)鍵膜層沉積。
致真設(shè)備自主研發(fā)生產(chǎn)的科研級(jí)薄膜制備設(shè)備，主要應(yīng)用于4英寸基底鍍膜。產(chǎn)品線涵蓋磁控濺射設(shè)備、電子束蒸發(fā)設(shè)備、分子束外延設(shè)備和脈沖激光沉積設(shè)備等，可滿足量子材料、二維材料、超導(dǎo)薄膜、光電功能層等前沿領(lǐng)域的精密鍍膜需求，為新型器件原型開(kāi)發(fā)、小批量試制及工藝迭代提供高效靈活的研發(fā)平臺(tái)。
此次開(kāi)業(yè)的杭州子公司，被致真設(shè)備董事長(zhǎng)程厚義定位為“長(zhǎng)三角12英寸集成電路裝備創(chuàng)新引擎”，“選擇落戶杭州，是公司戰(zhàn)略布局的重要一步。杭州公司的成立，標(biāo)志著我們12英寸產(chǎn)業(yè)化設(shè)備的研制邁向新高地。將進(jìn)一步提升致真設(shè)備在華東地區(qū)的服務(wù)能力與技術(shù)支撐，深化與杭州北航國(guó)新院、自旋芯片與技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，以及杭州本地合作伙伴的協(xié)同創(chuàng)新，為客戶提供更高效、更完備的解決方案。”
致真設(shè)備以杭州公司啟航為新起點(diǎn)，未來(lái)，依托長(zhǎng)三角世界級(jí)產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢(shì)，致真設(shè)備將打造具有全球競(jìng)爭(zhēng)力的薄膜沉積技術(shù)高地，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵裝備的完全自主可控。通過(guò)構(gòu)建“產(chǎn)學(xué)研用”深度融合的創(chuàng)新生態(tài)，致真設(shè)備正在走出一條跨越式發(fā)展之路。
