2025年2月10日，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項目動工儀式在珠海高新區(qū)智能制造加速基地舉行，標志著上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱至純科技）在華南地區(qū)的戰(zhàn)略布局邁出重要一步，有助進一步完善珠海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、加快發(fā)展產(chǎn)業(yè)生態(tài)，為華南地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展帶來新活力。
珠海至微半導(dǎo)體科技有限公司是上市公司至純科技的子公司。作為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè)，至純科技主要從事半導(dǎo)體制程和廠務(wù)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)以及半導(dǎo)體零部件清洗服務(wù)，多項技術(shù)已達國際先進水平，年營收約40億元。
珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項目去年9月簽約落戶珠海高新區(qū)，由珠海高新區(qū)與橫琴粵澳深度合作區(qū)聯(lián)動引進。此次動工的廠房總面積4200平方米，配置10級無塵車間，規(guī)劃建設(shè)4條獨立制程清洗產(chǎn)線及表面處理產(chǎn)線，預(yù)計年清洗產(chǎn)能達36萬件。
該項目聚焦半導(dǎo)體晶圓廠關(guān)鍵設(shè)備的零部件精密清洗與翻修服務(wù)，通過延長設(shè)備壽命、降低運營成本，助力晶圓廠高效生產(chǎn)。該項目旨在建設(shè)規(guī)模化的半導(dǎo)體清洗工廠，建成后可形成覆蓋珠三角半導(dǎo)體晶圓廠的“2小時配套圈”，為區(qū)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供快速響應(yīng)服務(wù)。
2024年，珠海高新區(qū)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟規(guī)模實現(xiàn)106億元，同比增長22%。珠海高新區(qū)黨工委書記趙適劍表示，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項目動工，有助進一步完善珠海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、加快發(fā)展產(chǎn)業(yè)生態(tài)，為廣東打造中國集成電路產(chǎn)業(yè)“第三極”提供支撐。
廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會會長陳衛(wèi)表示，珠海高新區(qū)地處大灣區(qū)黃金內(nèi)灣核心區(qū)域，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展氛圍濃厚，營商環(huán)境優(yōu)越，政務(wù)服務(wù)高效。珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項目落地動工，將有力推動珠海高新區(qū)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。
