在全鏈條推進(jìn)量子科技這一未來產(chǎn)業(yè)技術(shù)攻關(guān)和成果應(yīng)用上，無錫再迎重磅動作。2024年9月25日，由上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院建設(shè)的國內(nèi)首條光子芯片中試線正式啟用，這標(biāo)志著光子芯片正式步入產(chǎn)業(yè)化快車道，將突破原有的計算范式限制，為大規(guī)模智算帶來新的想象空間。
光子芯片是新一代信息技術(shù)的核心，能滿足新一輪科技革命中人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)鬏敗⒂嬎?、存儲、顯示的技術(shù)需求，已成為全球競速的產(chǎn)業(yè)高地。但一直以來，國內(nèi)光子芯片行業(yè)面臨中試平臺缺位、工藝技術(shù)壁壘高、良品率驗證低、產(chǎn)能轉(zhuǎn)化不足、國外平臺流片周期長等困境，嚴(yán)重制約了創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地的“黃金期”。
2021年，上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院項目在濱湖區(qū)啟動，2023年10月，項目載體結(jié)構(gòu)封頂，2024年1月首批設(shè)備入場，在經(jīng)過8個月的設(shè)備調(diào)試后，國內(nèi)首條光子芯片中試線宣告啟用。
在光子芯片中試線近6000平方米的高等級微納加工超凈間看到，一臺臺設(shè)備整齊排列，身穿潔凈服的技術(shù)人員熟練操作各類設(shè)備，觀察產(chǎn)品各項參數(shù)運行情況。為使微塵數(shù)量達(dá)標(biāo)，超凈間層高9米的一樓分為3層，主要設(shè)備在中間層，看不見的上夾層、下夾層除了鋪設(shè)供應(yīng)氣體和化學(xué)品的管道外，還設(shè)置了新風(fēng)系統(tǒng)，輸送清潔空氣，以保持室內(nèi)正壓，再通過鋪設(shè)的通風(fēng)孔向外排氣，使車間的潔凈程度達(dá)到了百級、千級、萬級標(biāo)準(zhǔn)。
據(jù)介紹，該中試平臺總面積為1.7萬平方米，集科研、生產(chǎn)、服務(wù)于一體，覆蓋了薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻、薄膜沉積、刻蝕、濕法、切割、量測到封裝的全閉環(huán)工藝，不僅可為高校、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù)，還可以為光子產(chǎn)業(yè)孵化項目，與產(chǎn)業(yè)基金高效聯(lián)動，打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場化的完整鏈條，加速科技成果的商業(yè)化轉(zhuǎn)化。
“中試線正式啟用后，預(yù)計年產(chǎn)能達(dá)10000片晶圓，2025年第一季度將正式提供對外流片服務(wù)?！睋?jù)上海交大無錫光子芯片研究院院長金賢敏介紹，技術(shù)的高速迭代與創(chuàng)新是推動光子芯片產(chǎn)業(yè)化的核心關(guān)鍵，硬件配套、設(shè)備精密，工藝閉環(huán)是支撐光子芯片產(chǎn)業(yè)化的三大核心要素，中試平臺不僅能加速技術(shù)迭代的飛輪效應(yīng)，還能促進(jìn)工藝流程的持續(xù)優(yōu)化和產(chǎn)品創(chuàng)新能力的提升。
光子芯片中試線的順利建成是濱湖區(qū)校地攜手打造科創(chuàng)平臺、實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)突圍的生動縮影。當(dāng)前，濱湖區(qū)在全面推動低空經(jīng)濟、量子科技、深海裝備、人形機器人、合成生物等未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展上，一大批與產(chǎn)業(yè)相匹配的創(chuàng)新平臺持續(xù)落地。截至目前，濱湖已擁有9個國家級創(chuàng)新平臺、8個省級科技公共服務(wù)平臺和3個新型研發(fā)機構(gòu)，今年上半年院所經(jīng)濟稅收貢獻(xiàn)3.92億元。
