近日，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司（以下簡稱北方華創(chuàng)）正式發(fā)布應(yīng)用于晶邊刻蝕（BevelEtch）工藝的12英寸等離子體刻蝕機AccuraBE，實現(xiàn)國產(chǎn)晶邊干法刻蝕設(shè)備“零”的突破，為我國先進芯片制造量身打造良率提升高效解決方案。
本次發(fā)布的晶邊刻蝕機是為了解決晶圓邊緣副產(chǎn)物及殘留物堆積越來越多的問題，從晶圓的邊緣位置著手提高芯片良率。
刻蝕機與光刻機是一對好朋友，二者都決定著芯片成品的性能，如果說光刻機就像工匠在木板上劃線，而刻蝕機則按照木板上劃線進行雕花。
北方華創(chuàng)自2001年創(chuàng)立起就開始組建團隊鉆研刻蝕技術(shù)，從2005年第一臺8英寸ICP刻蝕機在客戶端上線，到帶領(lǐng)國產(chǎn)刻蝕機從零到交付破千，北方華創(chuàng)歷經(jīng)了二十余載自主創(chuàng)新，不斷為集成電路裝備國產(chǎn)化進程貢獻“亦莊智慧”。
“AccuraBE作為首臺國產(chǎn)12英寸晶邊刻蝕設(shè)備，其技術(shù)性能已達業(yè)界主流水平?！北狈饺A創(chuàng)相關(guān)負責(zé)人表示，AccuraBE通過軟件系統(tǒng)調(diào)度優(yōu)化與特有傳輸平臺的結(jié)合，可助力客戶實現(xiàn)較高的產(chǎn)能；同時，可定制多種尺寸的聚焦環(huán)設(shè)計組合，實現(xiàn)對等離子體刻蝕區(qū)域的精準(zhǔn)位置控制，從而為客戶提供靈活、全面的良率提升方案。據(jù)了解，AccuraBE剛發(fā)布上市，就已斬獲邏輯及存儲器領(lǐng)域頭部客戶多個訂單，通過工藝調(diào)試，進入量產(chǎn)階段。
北京經(jīng)開區(qū)作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術(shù)水平最先進的區(qū)域之一，現(xiàn)已形成以中芯國際、北方華創(chuàng)為龍頭，包括設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，占據(jù)北京集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模超一半，為了打造全國集成電路產(chǎn)業(yè)高地，構(gòu)建了“小線研發(fā)+大線量產(chǎn)”的集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新模式，實現(xiàn)了關(guān)鍵裝備工藝的國產(chǎn)替代、關(guān)鍵產(chǎn)品的超前研發(fā)，北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體兩家裝備企業(yè)進入全球裝備企業(yè)30強。
