2月18日，中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站二期建設(shè)項目在蘇州順利通過總體驗收，已初步建成國際先進(jìn)的真空互聯(lián)綜合實驗裝置。
中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站始建于2014年，是世界首個以國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施為標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)的重大科學(xué)裝置。面向國家戰(zhàn)略需求和科學(xué)前沿重大問題，實驗站開創(chuàng)了一條變革性的技術(shù)路線，其將材料生長、器件工藝、測試分析等功能通過超高真空管道有機(jī)互聯(lián)，使得傳統(tǒng)常規(guī)超潔凈環(huán)境下獨立分散設(shè)備難以實現(xiàn)的材料本征特性、原子級精準(zhǔn)調(diào)控、器件原位制造等局限實現(xiàn)突破。
中國科學(xué)院蘇州納米所所務(wù)委員、實驗站主任張珽研究員介紹，目前，長達(dá)203米的真空互聯(lián)管道中，近40臺大型工藝設(shè)備已實現(xiàn)互聯(lián)，配套的材料制備與工藝、微觀機(jī)理準(zhǔn)原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺全部建成。實驗站組建的一支200余人的高水平人才隊伍，在半導(dǎo)體材料、量子材料、能源與催化材料、高溫超導(dǎo)材料、有機(jī)半導(dǎo)體材料及新興納米材料等先進(jìn)材料和半導(dǎo)體核心器件領(lǐng)域已取得一定的國際影響力。
中國科學(xué)院蘇州納米所副所長、黨委副書記王強(qiáng)斌表示，未來，納米真空互聯(lián)實驗站將繼續(xù)向建設(shè)成國際上最先進(jìn)的納米器件與材料綜合研究系統(tǒng)和公共實驗平臺目標(biāo)邁進(jìn)，圍繞納米科技領(lǐng)域重要前瞻性戰(zhàn)略布局，為江蘇省乃至長三角地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供強(qiáng)力支撐。
